微小型热式气体质量流量计(微小流量的单一组分的干燥气体)

微小型热式气体质量流量计基于热扩散原理工作。其核心部件包括一个加热元件和两个温度传感器。加热元件将传感器加热到一定温度，当气体流经传感器时，会带走部分热量，导致传感器温度下降。通过测量传感器温度的变化，可以计算出气体的质量流量